半导体制造对超纯水（UPW）要求极为严苛，需满足 电阻率≥18.2 MΩ·cm、TOC≤1 ppb、颗粒物≤5个/mL 等标准。
EDI技术优势：取代传统离子交换树脂，实现连续产水、低化学药剂消耗。
系统组成：包括预处理单元、EDI模块、循环管路、在线监测仪表（电阻率、流量、压力传感器等）。
二、关键维护方法与实践操作
1. 日常运行监控与数据管理
水质实时监测：通过PLC系统跟踪电阻率、温度、pH值，设定阈值报警（如电阻率波动>0.1 MΩ·cm时触发）。
流量与压力控制：维持EDI模块进水流量 2-3 m³/h、工作压力 0.2-0.4 MPa，防止膜堆压差过大导致结构变形。
2. 周期性化学清洗与再生
污染类型识别：
无机结垢（CaCO₃、SiO₂）：采用2%柠檬酸循环清洗；
有机污染（细菌代谢物）：使用0.1% NaOH + 0.5% NaHCO₃混合液处理。
清洗频率：建议每3-6个月执行一次，或根据压差上升速度（超过初始值15%时强制清洗）。
3. 膜堆与离子交换树脂维护
膜堆检查：每季度拆解观察隔板流道堵塞情况，使用超声波清洗机去除颗粒物。
树脂活化：对性能衰退的混合床树脂进行电再生，电流密度控制在 100-150 mA/cm²。
4. 电气与控制系统维护
直流电源校验：每月检测整流器输出电压稳定性，误差需<±5%。
接地保护：确保EDI模块接地电阻≤4Ω，避免电势差引发电腐蚀。
四、长效维护策略建议
预防性维护（PM）计划：制定季度/年度维护清单，涵盖仪表校准、密封件更换、耗材寿命预测。
人员培训体系：强化操作人员对 SEMI F63 超纯水标准的理解，掌握快速故障诊断方法。
智能化升级：引入AI算法分析历史数据，预测膜堆性能衰减趋势（精度可达90%以上）。
半导体EDI超纯水系统的维护需融合精准数据监控、科学清洗方案与严格流程管理。通过标准化操作与技术创新，可有效延长设备寿命、降低生产风险，为先进制程工艺提供可靠保障。
